Tetrafluoride karbon çi ye? Karanîna çi ye?

Çi yekarbon tetrafluoride? Karanîna çi ye?

Karbon tetrafluoride, her weha wekî tetrafluoromethane tête zanîn, wekî kompleksek inorganî tête hesibandin. Ew di pêvajoya plasma etching ya cûrbecûr cûrbecûr cûrbecûr de tête bikar anîn, û di heman demê de wekî gaz û sarincokê lazer jî tê bikar anîn. Ew di bin germahiya normal û zexta normal de bi rengek domdar e, lê pêdivî ye ku ji têkiliyê bi oxidantsên bihêz, materyalên şewitandî an şewitandî dûr bixin. Carbon Tetafluoride gazek ne-şewitandî ye. Ger ew bi germê bilind re rû bi rû bimîne, ew ê bibe sedema zexta navxweyî ya konteynerê ku zêde bibe, û xeterek têkçûn û teqînê heye. Bi gelemperî ew dikare tenê bi ammonia-sodium metal-sodium li ser germahiya odeyê re têkilî daynin.

Karbon tetrafluorideniha gazê herî mezin a plasma etchingê ye ku di pîşesaziya mîkroelectronîkê de tê bikar anîn. Ew dikare di nav etavkirina silicon, silicon dioksîdê de, pophosilîk û materyalên fîlimê yên narîn, hilberîna hucreyê ya lazer, hilberîna hucreyê ya lehî, di hilberîna qonaxa leaksiyonê de hejmareke mezin a serlêdanan heye.