Elektronîkîgazên taybetşaxek girîng a gazên taybet in. Ew hema hema di her girêka hilberîna nîvconductoran de derbas dibin û ji bo hilberîna pîşesaziyên elektronîkî yên wekî devreyên entegre yên pir-mezin, cîhazên ekrana panela dûz û şaneyên rojê madeyên xav ên neçar in.

Di teknolojiya nîvconductoran de, gazên ku flor tê de hene bi berfirehî têne bikar anîn. Niha, di bazara gaza elektronîkî ya cîhanî de, gazên elektronîkî yên ku flor tê de hene nêzîkî %30ê tevahî pêk tînin. Gazên elektronîkî yên ku flor tê de hene di warê materyalên agahdariya elektronîkî de pêkhateyek girîng a gazên elektronîkî yên taybetî ne. Ew bi giranî wekî ajanên paqijkirinê û ajanên gravurkirinê têne bikar anîn, û her weha dikarin wekî dopant, materyalên çêkirina fîlimê û hwd. werin bikar anîn. Di vê gotarê de, nivîskar dê we bibe sedema têgihîştina gazên hevpar ên ku flor tê de hene.

Gazên ku florîn tê de hene, bi gelemperî têne bikar anîn:

Nîtrojen trîflorîd (NF3): Gazeke ku ji bo paqijkirin û rakirina bermayiyan tê bikaranîn, bi gelemperî ji bo paqijkirina odeyên reaksiyonê û rûyên alavan tê bikaranîn.

Heksafluorîda sulfur (SF6)Maddeyeke florînkirinê ye ku di pêvajoyên danîna oksîdê de û wekî gazeke îzoleker ji bo dagirtina medyaya îzoleker tê bikaranîn.

Hîdrojen florîd (HF): Ji bo rakirina oksîdan ji rûyê silîkonê û wekî ajal ji bo ajalkirina silîkon û materyalên din tê bikar anîn.

Florîda nîtrojenê (NF): Ji bo xavkirina materyalên wekî nîtrîda silîkonê (SiN) û nîtrîda aluminiumê (AlN) tê bikar anîn.

Trîflorometan (CHF3) ûtetrafluorometan (CF4)Ji bo gravkirina materyalên florîdî yên wekî florîda silîkonê û florîda alumînyûmê tê bikar anîn.

Lêbelê, gazên ku flor tê de hene hin xetereyan dihewînin, di nav wan de jehrîbûn, korozyon û şewatbarî hene.

Jehrbûn

Hin gazên ku flor tê de hene jehrîn in, wek hîdrojen florîd (HF), ku buxara wê ji bo çerm û rêyên nefesê pir acizker e û ji bo tenduristiya mirovan zirardar e.

Korozîvîtî

Hîdrojen florîd û hin florîd pir korozîf in û dikarin zirarên cidî bidin çerm, çav û rêyên nefesê.

Şewatbûn

Hin florîd şewatbar in û bi oksîjen an ava di hewayê de reaksiyonê dikin û germahiyek dijwar û gazên jehrîn berdidin, ku dibe sedema agir an teqînê.

Metirsiya zexta bilind

Hin gazên florînkirî di bin zexta bilind de teqîner in û dema bikaranîn û hilanînê hewceyê lênêrînek taybetî ne.

Bandora li ser jîngehê

Gazên ku florîn tê de hene, temenê atmosferê û nirxên GWP yên bilind hene, ku bandorek wêranker li ser qata ozona atmosferê dikin û dibe ku bibin sedema germbûna gerdûnî û qirêjiya jîngehê.

Bikaranîna gazan di warên nû yên wekî elektronîkê de berdewam dike ku kûrtir bibe, û daxwazek mezin ji bo gazên pîşesaziyê tîne. Li ser bingeha kapasîteya hilberîna nû ya mezin a pêkhateyên sereke yên elektronîkî yên wekî nîvconductors û panelên nîşandanê li Çîna sereke di çend salên pêş de, û her weha daxwaza xurt ji bo şûna îtxalkirina materyalên kîmyayî yên elektronîkî, pîşesaziya gaza elektronîkî ya navxweyî dê rêjeyek mezinbûnê ya bilind bi dest bixe.