Electronicgazên taybetşaxeke girîng a gazên taybet in. Ew hema hema di her girêdana hilberîna nîvconductor de dikevin û ji bo hilberîna pîşesaziyên elektronîkî yên wekî çerxên yekbûyî yên pir-mezin, cîhazên dîmendera panelê ya daîre, û hucreyên rojê, madeyên xav ên domdar in.

Di teknolojiya semiconductor de, gazên fluorine bi berfirehî têne bikar anîn. Heya nuha, di bazara gerdûnî ya gaza elektronîkî de, gazên elektronîkî yên ku fluorîn hene bi qasî 30% ji tevahî pêk tê. Gazên elektronîkî yên fluorine di warê materyalên agahdariya elektronîkî de pêkhateyek girîng a gazên elektronîkî yên taybetî ne. Ew bi giranî wekî ajanên paqijkirinê û ajanên eqlê têne bikar anîn, û dikarin wekî dopan, materyalên çêkirina fîlimê, hwd jî werin bikar anîn. Di vê gotarê de, nivîskar dê we bigihîne ku hûn gazên hevpar ên fluorine fam bikin.

Li jêr bi gelemperî gazên fluorine têne bikar anîn

Nitrojen trifluoride (NF3): Gazek ku ji bo paqijkirin û rakirina depoyan tê bikar anîn, bi gelemperî ji bo paqijkirina odeyên reaksiyonê û rûberên alavên tê bikar anîn.

Sulfur hexafluoride (SF6): Karkerek fluorînekirinê ku di pêvajoyên depokirina oksîdê de û wekî gazek îzolekirinê ji bo dagirtina medya îzolasyonê tê bikar anîn.

Hîdrojen florîd (HF): Ji bo rakirina oksîdan ji rûxara siliconê û wekî etchant ji bo xêzkirina silicon û materyalên din tê bikar anîn.

Florîda nîtrojenê (NF): Ji bo kişandina materyalên wekî nîtrîda silicon (SiN) û nîtrîda aluminium (AlN) tê bikar anîn.

Trifluoromethane (CHF3) ûtetrafluoromethane (CF4): Ji bo kişandina materyalên florîdê yên wekî florîdê silicon û florîdê aluminiumê tê bikar anîn.

Lêbelê, gazên ku fluorîn hene hin xetereyên xwe hene, di nav de jehrîn, gemarî, û şewitandinê.

Toxicity

Hin gazên ku fluorê hene jehrîn in, wek hîdrojen florîd (HF), ku buxara wê ji çerm û rêka nefesê re pir aciz e û ji tenduristiya mirovan re zirardar e.

Corrosiveness

Florîda hîdrojenê û hin florîd pir zerardar in û dikarin zirarek cidî bidin çerm, çav û rêka nefesê.

Flammability

Hin florîd şewitîn in û bi oksîjenê an ava hewayê re reaksiyonê dikin û germa zêde û gazên jehrîn derdixin, ku dibe sedema agir an teqînê.

Xetereya tansiyona bilind

Hin gazên florînkirî di bin tansiyona bilind de teqemenî ne û dema ku têne bikar anîn û hilanîn pêdivî bi lênêrînek taybetî heye.

Bandora li ser jîngehê

Gazên ku florîn hene xwedan jiyana atmosferê ya bilind û nirxên GWP-yê ne, ku bandorek wêranker li ser tebeqeya ozona atmosferê heye û dibe ku bibe sedema germbûna gerdûnî û qirêjiya jîngehê.

Serîlêdana gazan li qadên nû yên wekî elektronîk her ku diçe kûrtir dibe, ku rêjeyek mezin daxwazek nû ji bo gazên pîşesaziyê tîne. Li ser bingeha hejmareke mezin a kapasîteya hilberîna nû ya hêmanên elektronîkî yên sereke yên wekî nîvconductor û panelên pêşandanê li parzemîna Chinaînê di çend salên pêş de, û her weha daxwazek bihêz ji bo cîgirkirina malzemeyên kîmyewî yên elektronîkî, dê pîşesaziya gaza elektronîkî ya navxweyî dest pê bike. rêjeya mezinbûna bilind.