Elektronîkgazên taybetîşaxek girîng a gazên taybetî ne. Ew hema hema her girêdana hilberîna nîvgirxanê digirîn û ji bo hilberîna pîşesaziyên elektronîkî yên wekî cûrbecûrên entegreyî yên ultra-mezin-mezinahî, amûrên panelê yên panelê, û hucreyên rojê hene.

Di teknolojiya nîvrojê de, gazên rûnê yên fluorine bi berfirehî têne bikar anîn. Niha, di bazara gazê ya elektronîkî ya gerdûnî de, gazên elektronîkî yên fluorine hene ku nêzîkê 30% ji tevahî tê hesabê. Li qadê agahdariya agahdariya elektronîkî ya gazên elektronîkî yên ku di nav zeviyên elektronîkî yên elektronîkî de xwedan rêgezek girîng a gazên elektronîkî ne. Ew bi piranî wekî sazûmanên paqijkirinê û sazûmanên etching têne bikar anîn, û dikarin di vê gotarê de jî wekî dopants, fîlimên damezirandinê werin bikar anîn, nivîskarê we bide gazên fluorîneya hevpar.

Ya jêrîn gazên bi gelemperî têne bikar anîn

Trifluoride nîtrojen (NF3): Gazek ku ji bo paqijkirin û rakirina depoyê tê bikar anîn, bi gelemperî ji bo paqijkirina odeyên reaksiyon û rûyên alavên.

Sulfur Hexafluoride (SF6): Ajînerek fluorînating ku di pêvajoyên depoyê Oxide de tê bikar anîn û wekî gazê isulating ji bo tijîkirina medyaya izolated.

Fluoride Hydrogen (HF)

Nîtrova fluoride (NF): Ji bo Materyalên Etch-ê wekî Silicon Nitride (SIN) û Nitride Aluminium (Aln) bikar anîn.

Trifluoromethane (CHF3) ûtetrafluooromethane (CF4): Ji bo materyalên fluoride yên mîna silicon fluoride û aluminium fluoride bikar anîn.

Lêbelê, gazên insuorine-avantajê hin xetere hene, di nav de toksiyon, korbûn, û şewitandin.

Demok

Hin gazên fluorine toksîk in, wek hîdrojenê fluoride (HF), ku vapor ji wan re pir aciz dike û ji bo tenduristiya mirovî zirarê ye û zirarê dide tenduristiya mirovî.

CoRrosiveness

Fluoride Hydrogen û hin fluorides pir pêbawer in û dikarin bibin sedema zirarên cidî li çerm, çav û traksiyona respirasyonê.

Flammaşî

Hin fluorides di hewayê de oksîjen an ava vexwarinê ne ku germ û gazên toksîk azad bikin, ku dibe sedema agir an teqînê.

Xetereya zexta bilind

Hin gazên fluorinated teqîn di bin zexta giran de ne û dema ku tê bikar anîn û hilanînê lênihêrînek taybetî hewce dike.

Bandora jîngehê

Gavanên navgîniya fluorine xwedî jiyanên bilind û nirxên GWP, ku bandorek hilweşandî li ser stûyê atmosferê li ser stûyê atmosferê heye û dibe ku bibe sedema germbûna gerdûnî û jîngehê.

Serîlêdana gazên di warên derketinê yên mîna elektronîkên ku kûrtir dibin, ji bo gazên pîşesazî daxwazek mezin a daxwazên nû anîn. Li ser bingehê kapasîteya hilberîna nû ya pêkhateyên mezin ên elektronîkî yên wekî nîvro û panelên bihêz ên li ser makîneya çînê, û her weha daxwaziya danasîna materyalên kîmyewî yên elektronîkî, dê pîşesaziya gazê ya elektronîkî ya navxweyî di rêjeyek mezinbûna mezin de bikar bîne.