Gazên elektronîkî yên taybet ên hevpar ên ku flor tê de hene ev in:heksafluorîda sulfur (SF6)Hexafluoride tungsten (WF6),karbon tetraflorîd (CF4), trîflorometan (CHF3), trîflorîda nîtrojenê (NF3), heksafloroetan (C2F6) û oktafloropropan (C3F8).
Bi pêşketina nanoteknolojiyê û pêşketina berfireh a pîşesaziya elektronîkê re, daxwaza wê roj bi roj zêde dibe. Nîtrojen trîflorîd, wekî gazeke elektronîkî ya taybet a neçar û herî zêde tê bikaranîn di hilberîn û hilberandina panel û nîvconductoran de, xwedî cîhekî fireh ê bazarê ye.
Wekî cureyekî gaza taybet a ku flor tê de heye,nîtrojen trîflorîd (NF3)berhema gaza taybet a elektronîkî ye ku xwedî kapasîteya bazarê ya herî mezin e. Di germahiya odeyê de ji hêla kîmyayî ve bêbandor e, di germahiya bilind de ji oksîjenê çalaktir e, ji florê stabîltir e, û karanîna wê hêsan e. Nîtrojen trîflorîd bi giranî wekî gaza gravurkirina plazmayê û ajanek paqijkirina odeya reaksiyonê tê bikar anîn, û ji bo qadên çêkirina çîpên nîvconductor, ekranên panela daîre, fîberên optîkî, şaneyên fotovoltaîk û hwd. guncaw e.
Li gorî gazên din ên elektronîkî yên ku flor tê de hene,nîtrojen trîflorîdXwedî avantajên reaksiyona bilez û karîgeriya bilind e. Bi taybetî di gravkirina materyalên ku silîkonê dihewînin de wekî nîtrîda silîkonê, rêjeya gravkirin û bijartîbûna wê bilind e, li ser rûyê tiştê gravkirî ti bermayiyek nahêle. Her wiha madeyek paqijkirinê ya pir baş e û qirêjiyê li ser rûyê çêdike, ku dikare hewcedariyên pêvajoya hilberînê bicîh bîne.
Dema weşandinê: 14ê Îlonê, 2024
