Gazên elektronîkî yên taybetî yên ku fluorîn-hewadar in hevpar insulfur hexafluoride (SF6)Hexafluoride tungsten (WF6),karbon tetrafluoride (CF4), trifluoromethane (CHF3), nîtrojen trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) û octafluoropropane (C3F8).
Bi pêşveçûna nanoteknolojiyê û pêşveçûna mezin a pîşesaziya elektronîkî, dê daxwaziya wê roj bi roj zêde bibe. Nitrojen trifluoride, wekî gazek elektronîkî ya taybetî ya domdar û herî zêde tê bikar anîn di hilberandin û hilberandina panel û nîvconduktoran de, xwedan cîhek bazarê ya berfireh e.
Wekî celebek gaza taybetî ya ku fluorîn heye,nîtrojen trifluoride (NF3)hilbera gazê ya taybetî ya elektronîkî ye ku bi kapasîteya bazarê ya herî mezin e. Ew di germahiya odeyê de ji hêla kîmyewî ve bêhêz e, di germahiya bilind de ji oksîjenê çalaktir e, ji fluorine stabîltir e û karanîna wê hêsan e. Nitrojen trifluoride bi giranî wekî gazek plazmayê û paqijkirina jûreya reaksiyonê tê bikar anîn, û ji bo zeviyên çêkirina çîpên nîvconductor, pêşandanên panelê yên daîre, fîberên optîkî, hucreyên fotovoltaîk, hwd.
Li gorî gazên elektronîkî yên din ên ku florîn hene,nîtrojen trifluoridexwedan avantajên reaksiyonên bilez û karbidestiya bilind e. Bi taybetî di xêzkirina materyalên ku silicon-dihewîne yên wekî nîtrîda silicon de, ew xwedan rêjeyek û hilbijartîyek bilind e, ku li ser rûyê tiştê ku hatî xêzkirin çu bermayiyê nahêle. Di heman demê de ew paqijkerek pir baş e û li ser rûyê erdê gemarî tune, ku dikare hewcedariyên pêvajoya pêvajoyê bicîh bîne.
Dema şandinê: Sep-14-2024
