Pîşesaziya nîvconductor û pîşesaziya panelê ya welatê me di asta bilind a geşbûnê de didomînin. Nîtrojen trîflorîd, wekî gazek elektronîkî ya taybetî ya pir girîng û bi qebareya herî mezin di hilberîn û hilberandina panel û nîvconductoran de, xwedî cîhek bazarê ya fireh e.
Gazên elektronîkî yên taybet ên ku bi gelemperî têne bikar anîn ên ku florîn tê de hene ev in:heksafluorîda sulfur (SF6)Hexafluoride tungsten (WF6),karbon tetraflorîd (CF4), trîflorometan (CHF3), nîtrojen trîflorîd (NF3), heksaflorîetan (C2F6) û oktaflorîpropan (C3F8). Nîtrojen trîflorîd (NF3) bi giranî wekî çavkaniyek florîdê ji bo lazerên kîmyewî yên enerjiya bilind ên hîdrojen florîd-gaza florîdê tê bikar anîn. Beşa bi bandor (nêzîkî 25%) ya enerjiya reaksiyonê di navbera H2-O2 û F2 de dikare bi tîrêjên lazerê were berdan, ji ber vê yekê lazerên HF-OF di nav lazerên kîmyewî de lazerên herî sozdar in.
Nîtrojen trîflorîd di pîşesaziya mîkroelektronîkê de gazeke gravkirina plazmayê ya pir baş e. Ji bo gravkirina silîkon û nîtrîda silîkonê, nîtrojen trîflorîd xwedî rêjeyeke gravkirin û bijartîbûnek ji karbon tetraflorîd û tevlîheviyeke karbon tetraflorîd û oksîjenê bilindtir e, û qirêjiyê nade rûyê erdê. Bi taybetî di gravkirina materyalên çerxên entegrekirî yên bi qalindahiya kêmtir ji 1.5um de, nîtrojen trîflorîd xwedî rêjeyeke gravkirin û bijartîbûnek pir baş e, li ser rûyê tiştê gravkirî bermayiyan nahêle, û her wiha ajaneke paqijkirinê ya pir baş e. Bi pêşkeftina nanoteknolojiyê û pêşkeftina berfireh a pîşesaziya elektronîkê re, daxwaza wê dê roj bi roj zêde bibe.
Wekî cureyekî gaza taybet a ku florîn tê de heye, nîtrojen trîflorîd (NF3) mezintirîn berhema gaza taybet a elektronîkî ye li sûkê. Ew di germahiya odeyê de ji hêla kîmyayî ve bêbandor e, ji oksîjenê çalaktir e, ji florînê stabîltir e, û di germahiya bilind de hêsan e ku meriv bikar bîne.
Trîfluorîda nîtrojenê bi giranî wekî gaza gravurkirina plazmayê û paqijkirina odeya reaksiyonê tê bikar anîn, ji bo qadên çêkirinê yên wekî çîpên nîvconductor, dîmenderên panela dûz, fîberên optîkî, şaneyên fotovoltaîk û hwd. guncan e.
Li gorî gazên din ên elektronîkî yên ku flor tê de hene, nîtrojen trîflorîd xwedî avantajên reaksiyona bilez û karîgeriya bilind e, nemaze di gravkirina materyalên ku silîkon tê de hene wekî nîtrîda silîkonê, ew xwedî rêjeyek gravkirin û bijartîbûnek bilind e, li ser rûyê tiştê gravkirî ti bermayiyek nahêle, û her weha ajanek paqijkirinê ya pir baş e, û ew ji bo rûyê qirêj nake û dikare hewcedariyên pêvajoya pêvajoyê bicîh bîne.
Dema weşandinê: 26ê Kanûna Pêşîn a 2024an
