Mîqdara herî mezin a gazê taybetî ya elektronîkî - nîtrojen trifluoride nf3

Pîşesaziya Pîşesaziya Nîvyozê ya Welat û Panelê ya Welatê astek bilind a bextewariyê diparêze. Trifluoride nîtrojen, wekî gazê elektronîkî ya taybetî û bijîjkî ya herî mezin di hilberîn û pêvajoyê panel û nîvrojê de, xwedan cîhê bazara berfireh heye.

Bi gelemperî gazên elektronîkî yên spanî yên lêker têne bikar anînSulfur Hexafluoride (SF6)Tungsten Hexafluoride (WF6),Carbon Tetrafluoride (CF4), TrifluoRomethane (CHF3), Nîtro Trifluoride (NF3), Hexafluoroethane (C2F6) û Octafluoropropane (C3F8). Trifluoride nîtrojen (NF3) bi piranî wekî çavkaniyek fluorine ji bo hîdrojen fluoride-fluoride gazê-enerjiya bi lasers Dabeşa bandorker (% 25) ya enerjiya reaksiyonê di navbera H2-O2 û F2 de dikare ji hêla tîrêjê laser ve were azad kirin, lewra lasers HF-ya lasersên herî sozdar in.

Nîtrojen Trifluoride li pîşesaziya mîkroelectronîkê gazê etchareseriyek xweş e. Ji bo Etching Silicon û Silicon Nitride, Trifluoride Nîtro, ji karbonluoride û tevliheviya karbonê tetrafluoride û oksîjenê, û ji bo rûyê erdê tune. Bi taybetî di hingivê materyalên dorpêçê de bi qelsiya 1,5um re, nîtrojen, hilbijartinê heye, û ne mayîna li ser rûyê etched, û di heman demê de ajokerek paqijkirina pir baş e. Bi pêşkeftina nanoteknolojî û pêşkeftina mezin a pîşesaziya elektronîkî re, daxwaziya wê dê roj bi roj zêde bibe.

Wekî celebek gazê ya fluorine-tê de, trifluoride nîtrovî (NF3) hilberîna herî mezin a gazê ya elektronîkî ya li sûkê ye. Ew di germahiya odeyê de kîmyewî ye, ji oksîjenê bêtir çalak e, ji fluorine bêtir aram e, û hêsan e ku meriv di germahiya bilind de birêve bibe.

Trifluoride nîtrojen bi piranî wekî amûrên paqijkirina gazê û bîhnxweş û reaksiyonê tête bikar anîn, ji bo çêkirina zeviyên semiconductor, panelên rûkal, fêkiyên optîkî, hucreyên photokî, hwd.

Ligel gazên elektronîkî yên din ên fluorîneyî yên din ên fluortines hene, bi taybetî di navbêna materyalên silicon de, bi taybetî li ser rûyê etchedê, û ew ne xwedan paqijek paqij e, û ew ne li ser rûyê erdê ye û dikare hewcedariyên pêvajoya pêvajoyê bicîh bînin.