Di sala 2018 de, bazara gerdûnî ya gazê ya elektronîkî ya ji bo dorhêlên yekbûyî gihîştiye 4.512 milyar dolarên Amerîkî, ku sal bi sal 16% zêde bûye.Rêjeya mezinbûna bilind a pîşesaziya gazê ya taybetî ya elektronîkî ji bo nîvconductors û mezinahiya bazarê ya mezin plana cîgirkirina navxweyî ya gaza taybetî ya elektronîkî bileztir kiriye!
Gaza elektron çi ye?
Gaza elektronîkî ji materyalê çavkaniya bingehîn a ku di hilberîna nîvconductors, dîmenderên panelê de, dîodên ronahiyê, hucreyên rojê û hilberên din ên elektronîkî de tê bikar anîn, vedibêje, û bi berfirehî di paqijkirin, etching, avakirina fîlimê, doping û pêvajoyên din de tê bikar anîn.Qadên serîlêdana sereke yên gaza elektronîkî pîşesaziya elektronîkî, hucreyên rojê, ragihandina mobîl, navîgasyon û pergalên bihîstwerî û vîdyoyê yên gerîdeyê, hewavanî, pîşesaziya leşkerî û gelek warên din hene.
Gaza taybetî ya elektronîkî li gorî pêkhateya xweya kîmyewî dikare li heft kategoriyan were dabeş kirin: silicon, arsenîk, fosfor, bor, hîdrora metal, halide û alkoksîd metal.Li gorî rêbazên serîlêdanê yên cihêreng di çerxên yekbûyî de, ew dikare li gaza dopîngê, gaza epitaxy, gaza implantasyona ion, gaza diodê ya ronahiyê, gaza etching, gaza depokirina buhara kîmyewî û gaza hevseng were dabeş kirin.Zêdetirî 110 yekîneyên gazên taybetî hene ku di pîşesaziya nîvconductor de têne bikar anîn, ji wan zêdetirî 30 bi gelemperî têne bikar anîn.
Bi gelemperî, pîşesaziya hilberîna nîvconductor gazan li du celeb dabeş dike: gazên hevpar û gazên taybetî.Di nav wan de, gaza ku bi gelemperî tê bikar anîn tê wateya dabînek navendî û gelek gazê bikar tîne, wek N2, H2, O2, Ar, He, hwd. dirêjkirin, derzîlêdana îonê, tevlihevkirin, şuştin û çêkirina maskê, ya ku em nuha gaza taybetî ya elektronîkî jê re dibêjin, wek SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, hwd.
Di tevahiya pêvajoya hilberîna pîşesaziya nîvconductor de, ji mezinbûna çîpê heya pakkirina cîhaza dawîn, hema hema her girêdan ji gaza taybetî ya elektronîkî, û cûrbecûr gaza ku tê bikar anîn û hewcedariyên kalîteya bilind nayê veqetandin, ji ber vê yekê gaza elektronîkî xwediyê materyalên nîvconductor e."Xûrek".
Di salên dawî de, hêmanên elektronîkî yên sereke yên Chinaînê yên wekî nîvconductor û panelên dîmenderê di kapasîteya hilberîna nû de zêde bûne, û daxwazek xurt ji bo cîgirkirina îthalata materyalên kîmyewî yên elektronîkî heye.Helwesta gazên elektronîkî di pîşesaziya nîvconductor de her ku diçe berbiçav dibe.Pîşesaziya gazê ya elektronîkî ya navxweyî dê mezinbûna bilez dest pê bike.
Gaza taybetî ya elektronîkî ji bo paqijiyê hewcedariyên pir zêde hene, ji ber ku heke paqijî ne li gorî hewcedariyên be, komên nepakiyê yên wekî buhara avê û oksîjenê di gaza taybetî ya elektronîkî de dê bi hêsanî fîlima oksîdê li ser rûyê nîvconductor çêbike, ku bandorê li ser jiyana karûbarê cîhazên elektronîkî, û gaza taybetî ya elektronîkî dihewîne Parçeyên nepakiyê dikarin bibin sedema dorveyên kurt ên nîvconductor û zirara dorhêlê.Dikare were gotin ku başkirina paqijiyê di hilber û performansa hilberîna cîhaza elektronîkî de rolek girîng dilîze.
Bi pêşkeftina domdar a pîşesaziya nîvconductor re, pêvajoya çêkirina çîpê ber bi pêş ve diçe, û naha ew gihîştiye 5 nm, ku nêzîkê sînorê Qanûna Moore ye, ku bi qasî yek-bîstê qantira porê mirov e ( nêzîkî 0.1 mm).Ji ber vê yekê, ev di heman demê de li ser paqijiya gaza taybetî ya elektronîkî ya ku ji hêla nîvconductoran ve hatî hilberandin hewcedariyên bilindtir derdixe pêş.
Dema şandinê: Dec-15-2021
