Di pêvajoya çêkirina hilberîna semiconductor de digel pêvajoyên hilberîna berbiçav, nêzîkî 50 cûreyên cûda yên gazê hewce ne. Gazên bi gelemperî li gazên bulk têne dabeş kirin ûgazên taybetî.

Serîlêdana gazên li mîkroelectronics û pîşesaziyên nîvgirava ku karanîna gazan di pêvajoyên nîvrojê de, bi taybetî di pîşesaziyên cûrbecûr de bi berfirehî têne bikar anîn. Ji Ulsi, TFT-LCD ji Pîşesaziya Micro-Electromekanîkî ya heyî re, pêvajoyên nîvgirava wekî pêvajoyên hilberînê yên hilberê, di nav de oxidasyona rûnê, oxidation, ion implantation, depoya fîlimê ya nerm, hwd.

Mînakî, gelek mirov dizanin ku çîp ji sandê têne çêkirin, lê mêze dikin ku li tevahiya pêvajoya çîmentoyê mêze dikin, wek fonoresist, materyalên polis, materyalê taybetî, hwd, hwd. Pakêtên paş-paşîn jî hewce dike ku substrates, navber, çarçoveyên rêber, materyalên girêdanê, hwd. Gazeyên taybetî yên elektronîkî duyemîn materyalê duyemîn in di lêçûnên hilberîna nîvgirava piştî waferên silicon de, li pey mask û fototan.

Paqijiya gazê li ser performansa performansê û hilberîna hilberê, û ewlehiya gazê bi tenduristiya karmendan û ewlehiya operasyona kargehê re têkildar e. Whyima paqijiya gazê bandorek wusa mezin li ser xeta pêvajoyê û personelê heye? Ev ne xezîneyek e, lê ji hêla taybetmendiyên xeternak ên gazê bixwe ve tê destnîşankirin.

Klasîkirina gazên hevbeş ên di pîşesaziya nîvrûker de

Gazê asayî

Gazê asayî jî gaza bulk e: Ew bi gaza pîşesaziyê bi hewcedariya paqijbûnê kêmtir ji 5n û hilberek mezin û firotanê ye. Ew dikare li gorî rêbazên amadekariyên cûda yên gazê û benzînasyona ji hev veqetandî were dabeş kirin. Hîdrojen (H2), Nîtrojen (N2), Oxygen (O2), Argon (A2), hwd.;

Gaza taybetî

Gaza taybetî li gazê pîşesaziyê ya ku di zeviyên taybetî de tête bikar anîn û hewcedariyên taybetî yên ji bo paqijbûn, cûrbecûr û taybetmendiyên xwe hene. SerewanîSih4, Ph3, b2h6, A8H3,HCl, CF4,NH3, Pocl3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… wate ya vê çîye.

Cûreyên gazên spîndar

Cûreyên gazên taybetî: Corrosive, toksic, flamable, combustion-piştgirî, inert, hwd.
Gazên nîvrojê yên bi gelemperî wekî jêrîn têne destnîşan kirin:
(i) kron / toksîk:HCl, Bf3, WF6, HBR, SIH2CL2, NH3, PH3, CL2,BCL3...
(ii) Flammable: H2,Ch4,Sih4, Ph3, ash3, sih2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO ...
(iii) CombusTi: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) Inert: N2,CF4, C2F6,C4F8,SF6, CO2,Ne,Kr,Ew…

Di pêvajoyê de çêkirina çîmentoyê nîvgirava, li ser 50 cûreyên cûda yên gazê (wekî gazên taybetî) têne bikar anîn ku di oxidation, belavkirin, depo, etching, fotolithografî û pêvajoyên din de ji sedî derbas dibe. Mînakî, PH3 û Ash3 wekî fosfor û çavkaniyên phosfor û arsenîkî têne bikar anîn

Ji aliyên jorîn, em dikarin fam bikin ku gelek gazên nîvgirava bi laşê mirov zirarê ne. Bi taybetî, hin gazên, yên wekî Sih4, xwe-şewitandin in. Heya ku ew leqeb bikin, ew ê bi tundî bi oksîjenê re bertek nîşan bidin û dest bi şewitandinê bikin; û ash3 pir toksîk e. Dibe ku her lebatek piçûk zirarê bide jiyana mirovan, ji ber vê yekê daxwazên ji bo ewlehiya sêwirana pergala kontrolê ji bo karanîna gazên taybetî pir zêde ne.

Semiconductors hewce dike ku gazên paqijiya bilind-paqij bikin da ku "sê derece" hebe

Paqijiya gazê

Naveroka atmosfera nepenîtiyê di gazê de bi gelemperî wekî sedî sedê gazê tê gotin, wekî 99.9999%. Bi gelemperî, hewcedariya paqijiyê ya ji bo gazên taybetî yên elektronîkî digihîje 5n - 6n Zeviya nîvronîk a elektronorê hewceyên herî bilind ji bo paqijbûn û aramiya kalîteyê ya gazên taybetî hene, û paqijiya gazên taybetî yên elektronîkî bi gelemperî ji 6n mezintir e.

Zûhatî

Naveroka avê di gazê, an şilbûnê de, bi gelemperî di xala dew de tê gotin, wek mînak Dew xala Atmosferê -70 ℃.

Paqijbûnî

Hejmara parçeyên şûjikê di gazê de, parçeyên bi mezinahiya pîvanê ya μm, di çend parçeyên / m3 de tê gotin. Ji bo hewaya zextkirî, bi gelemperî di MG / M3 de ji niştecîhên zexm ên bêkêmasî tê xuyang kirin, ku naveroka neftê pêk tîne.