Di pêvajoya çêkirina kargehên waferên nîvconductor de ku pêvajoyên hilberînê yên nisbeten pêşketî hene, nêzîkî 50 cureyên cûda yên gazan hewce ne. Gaz bi gelemperî li gazên girseyî û ... têne dabeş kirin.gazên taybet.

Bikaranîna gazan di pîşesaziyên mîkroelektronîk û nîvconductor de Bikaranîna gazan her gav di pêvajoyên nîvconductor de roleke girîng lîstiye, nemaze pêvajoyên nîvconductor bi berfirehî di gelek pîşesaziyan de têne bikar anîn. Ji ULSI, TFT-LCD bigire heya pîşesaziya mîkro-elektromekanîkî (MEMS) ya heyî, pêvajoyên nîvconductor wekî pêvajoyên çêkirina hilberan têne bikar anîn, di nav de gravkirina hişk, oksîdasyon, çandina îyonan, danîna fîlima zirav, û hwd.

Bo nimûne, gelek kes dizanin ku çîp ji qûmê têne çêkirin, lê dema ku meriv li tevahiya pêvajoya çêkirina çîpê dinêre, bêtir materyal hewce ne, wek fotoresîst, şileya cilalkirinê, materyalê hedef, gaza taybet û hwd. ku neçar in. Pakkirina paşîn her weha pêdivî bi substrat, navberker, çarçoveyên seriyê, materyalên girêdanê û hwd. ji materyalên cûrbecûr heye. Gazên taybet ên elektronîkî piştî waferên silîkonê duyemîn materyalê herî mezin di lêçûnên çêkirina nîvconductor de ne, piştî maske û fotoresîst tên.

Paqijiya gazê bandorek diyarker li ser performansa pêkhateyan û berhema hilberê dike, û ewlehiya dabînkirina gazê bi tenduristiya personel û ewlehiya xebitandina kargehê ve girêdayî ye. Çima paqijiya gazê bandorek ewqas mezin li ser xeta pêvajoyê û personel dike? Ev ne zêdekirin e, lê ji hêla taybetmendiyên xeternak ên gazê bi xwe ve tê destnîşankirin.

Dabeşkirina gazên hevpar di pîşesaziya nîvconductor de

Gaza Asayî

Gaza asayî jî wekî gaza girseyî tê binavkirin: ew ji gaza pîşesaziyê re tê gotin ku pêdiviya paqijiyê ji 5N kêmtir e û xwedî qebareya hilberîn û firotanê ya mezin e. Li gorî rêbazên amadekirinê yên cûda, ew dikare bibe gaza veqetandina hewayê û gaza sentetîk. Hîdrojen (H2), nîtrojen (N2), oksîjen (O2), argon (A2), û hwd.;

Gaza Taybet

Gaza taybet behsa gaza pîşesaziyê dike ku di warên taybetî de tê bikar anîn û ji bo paqijî, cûrbecûr û taybetmendiyan pêdiviyên taybetî hene. Bi piranîSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… wate ya vê çîye.

Cureyên gazên bîberî

Cureyên gazên taybet: korozîf, jehrîn, şewatgir, yên ku piştgiriyê didin şewitandinê, bêbandor, û hwd.
Gazên nîvconductor ên ku bi gelemperî têne bikar anîn wiha têne dabeş kirin:
(i) Korozîf/jehrîn:HCl、BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2,BCl3…
(ii) Şewatbar: H2,CH4قوتابةSiH4、PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO…
(iii) Şewatbar: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Bêbandor: N2,CF4C2F6C4F8قوتابةSF6CO2NeقوتابةKr,Ew…

Di pêvajoya çêkirina çîpên nîvconductor de, nêzîkî 50 cureyên cuda yên gazên taybet (ku wekî gazên taybet têne binavkirin) di pêvajoyên oksîdasyon, belavbûn, danîn, gravkirin, derzîkirin, fotolîtografî û yên din de têne bikar anîn, û tevahî gavên pêvajoyê ji sedî derbas dibin. Bo nimûne, PH3 û AsH3 wekî çavkaniyên fosfor û arsenîkê di pêvajoya bicihkirina îyonê de têne bikar anîn, gazên li ser bingeha F CF4, CHF3, SF6 û gazên halojen CI2, BCI3, HBr bi gelemperî di pêvajoya gravkirinê de têne bikar anîn, SiH4, NH3, N2O di pêvajoya fîlma danînê de, F2/Kr/Ne, Kr/Ne di pêvajoya fotolîtografî de.

Ji aliyên jorîn, em dikarin fêm bikin ku gelek gazên nîvconductor ji bo laşê mirov zirardar in. Bi taybetî, hin ji wan gazan, wek SiH4, xwe-şewitînin. Heta ku ew biherikin, ew ê bi oksîjena di hewayê de bi tundî reaksiyon bikin û dest bi şewitandinê bikin; û AsH3 pir jehrîn e. Her rijandinek piçûk dikare zirarê bide jiyana mirovan, ji ber vê yekê pêdiviyên ji bo ewlehiya sêwirana pergala kontrolê ji bo karanîna gazên taybetî bi taybetî bilind in.

Ji bo ku nîvconductor "sê pileyan" hebin, pêdivî bi gazên paqijiya bilind heye.

Paqijiya gazê

Naveroka atmosfera nepakiyê di gazê de bi gelemperî wekî rêjeyek ji paqijiya gazê tê îfadekirin, wek 99.9999%. Bi gelemperî, pêdiviya paqijiyê ji bo gazên taybet ên elektronîkî digihêje 5N-6N, û her weha bi rêjeya qebareya naveroka atmosfera nepakiyê ppm (beşek ji bo mîlyonek), ppb (beşek ji bo mîlyarek), û ppt (beşek ji bo trîlyonek) tê îfadekirin. Qada nîvconductor a elektronîkî xwedî pêdiviyên herî bilind ji bo paqijî û aramiya kalîteyê ya gazên taybet e, û paqijiya gazên taybet ên elektronîkî bi gelemperî ji 6N mezintir e.

Zûhatî

Naveroka ava şopîner di gazê de, an şilbûn, bi gelemperî bi xala şilbûnê, wekî xala şilbûna atmosferîk -70℃, tê îfade kirin.

Paqijbûnî

Hejmara perçeyên gemarî di gazê de, perçeyên bi mezinahiya perçeyên µm, bi hejmara perçeyan/M3 tê îfadekirin. Ji bo hewaya pêçayî, ew bi gelemperî bi mg/m3 bermayiyên hişk ên neçar, ku naveroka petrolê jî di nav de ye, tê îfadekirin.