Di pêvajoya çêkirinê de fêkiyên waferên nîvconductor ku bi pêvajoyên hilberînê yên nisbeten pêşkeftî ne, nêzî 50 celeb gazên cûda hewce ne. Gaz bi giştî li gazên mezin ûgazên taybet.

Serîlêdana gazan di pîşesaziyên mîkroelektronîk û nîvconductor de Bikaranîna gazan her gav di pêvajoyên nîvconductor de rolek girîng lîstiye, nemaze pêvajoyên nîvconductor bi berfirehî di pîşesaziyên cihêreng de têne bikar anîn. Ji ULSI, TFT-LCD heya pîşesaziya mîkro-elektromekanîkî (MEMS) ya heyî, pêvajoyên nîvconductor wekî pêvajoyên hilberîna hilberê têne bikar anîn, di nav de hişkkirina hişk, oksîdasyon, implantasyona ion, depokirina fîlima zirav, hwd.

Mînakî, pir kes dizanin ku çîp ji qûmê têne çêkirin, lê li tevahiya pêvajoya çêkirina çîpê dinêrin, bêtir materyal hewce ne, wekî fotobergir, şilava paqijkirinê, materyalê armanc, gaza taybetî, hwd. Di heman demê de ji pakkirina paşîn re substrat, navberker, çarçoveyên pêşeng, materyalên girêdanê, hwd ji materyalên cihêreng hewce dike. Gazên taybetî yên elektronîkî di lêçûnên hilberîna nîvconductor de duyemîn materyalê herî mezin in piştî waferên silicon, li pey mask û fotoresîstan.

Paqijiya gazê bandorek diyarker li ser performansa pêkhatî û hilberîna hilberê heye, û ewlehiya peydakirina gazê bi tenduristiya karmend û ewlehiya xebata kargehê ve girêdayî ye. Çima paqijiya gazê bandorek mezin li ser xeta pêvajoyê û personelê dike? Ev ne zêdebûnek e, lê ji hêla taybetmendiyên xeternak ên gazê bixwe ve tê destnîşankirin.

Dabeşkirina gazên hevpar ên di pîşesaziya semiconductor de

Gaza Asayî

Gaza asayî jê re gaza qelebalix jî tê gotin: ew gaza pîşesazî ya ku hewcedariya paqijiyê ji 5N kêmtir e û hilberînek mezin û qebareya firotanê heye vedibêje. Ew dikare li gorî awayên cûda yên amadekirinê li gaza veqetandina hewayê û gaza sentetîk were dabeş kirin. Hîdrojen (H2), nîtrojen (N2), oksîjen (O2), argon (A2), hwd.;

Gaza taybet

Gaza taybetmendî gaza pîşesaziyê ye ku di zeviyên taybetî de tê bikar anîn û ji bo paqijî, cûrbecûr û taybetmendiyan hewceyên taybetî hene. SerewanîSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… wate ya vê çîye.

Cureyên gazên Spicial

Cûreyên gazên taybetî: gemarî, jehrîn, şewatbar, piştgirî-şewitandinê, bêhêz, hwd.
Gazên nîvconductor ku bi gelemperî têne bikar anîn wiha têne dabeş kirin:
(i) Korozî/jehrîn:HCl、BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2,BCl3…
(ii) Şewitbar: H2,CH4,SiH4、PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO…
(iii) Şewitandin: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Bêalî: N2,CF4、C2F6、C4F8,SF6、CO2、Ne,Kr,Ew…

Di pêvajoya çêkirina çîpê nîvconductor de, bi qasî 50 cûreyên cûda yên gazên taybetî (wekî gazên taybetî têne binav kirin) di oksîdasyon, belavbûn, hilweşandin, eçkirin, derzîkirin, fotolîtografî û pêvajoyên din de têne bikar anîn, û gavên tevahî pêvajoyê ji sedan derbas dikin. Mînakî, PH3 û AsH3 wekî çavkaniyên fosfor û arsenîk di pêvajoya îlonê de têne bikar anîn, gazên F-based CF4, CHF3, SF6 û gazên halojen CI2, BCI3, HBr bi gelemperî di pêvajoya çekirinê de têne bikar anîn, SiH4, NH3, N2O di nav de. pêvajoya fîlimê depokirin, F2/Kr/Ne, Kr/Ne di fotolîtografiyê de pêvajoyê.

Ji aliyên jorîn, em dikarin fêm bikin ku gelek gazên nîvconductor zirarê didin laşê mirovan. Bi taybetî, hin gazên wekî SiH4, xwe dişewitînin. Heya ku ew diherikin, ew ê bi oksîjena hewayê re bi tundî reaksiyonê bikin û dest bi şewitandinê bikin; û AsH3 pir jehr e. Her lehiyek sivik dibe ku zirarê bide jiyana mirovan, ji ber vê yekê hewcedariyên ewlehiya sêwirana pergala kontrolê ji bo karanîna gazên taybetî bi taybetî zêde ne.

Ji bo nîvconductor gazên paqijiya bilind "sê derece" hewce dikin.

Paqijiya gazê

Naveroka atmosfera nepaqijiya di gazê de bi gelemperî wekî sedî 99,9999% ji paqijiya gazê tê destnîşan kirin. Bi gelemperî, hewcedariya paqijiyê ji bo gazên taybetî yên elektronîkî digihîje 5N-6N, û di heman demê de bi rêjeya qebareya naveroka atmosfera nepakiyê ppm (per mîlyonek), ppb (per milyarek), û ppt (per trîlyonek) tête diyar kirin. Qada nîvconductor elektronîk ji bo paqijî û aramiya kalîteyê ya gazên taybetî hewceyên herî bilind e, û paqijiya gazên taybetî yên elektronîkî bi gelemperî ji 6N mezintir e.

Zûhatî

Naveroka şopa avê ya di gazê de, an şilbûn, bi gelemperî di xala dewê de, wek xala dewê atmosferê -70℃, tê diyar kirin.

Paqijbûnî

Hejmara pariyên gemarê yên di gazê de, pariyên bi mezinahiya pariyên wan mîkm in, bi çend zêran/M3 tê diyar kirin. Ji bo hewaya pêçandî, ew bi gelemperî bi mg / m3 bermahiyên zexm ên neçar, ku naveroka rûnê tê de tê destnîşan kirin.