Heksafluorîda tungstenê (WF6) bi rêya pêvajoyek CVD li ser rûyê waferê tê danîn, xendekên girêdana metalî tijî dike, û girêdana metalî di navbera tebeqeyan de çêdike.
Pêşî em li ser plazmayê biaxivin. Plazma cureyekî madeyê ye ku bi giranî ji elektronên azad û îyonên barkirî pêk tê. Ew di gerdûnê de bi awayekî berfireh heye û pir caran wekî rewşa çaremîn a madeyê tê hesibandin. Jê re rewşa plazmayê tê gotin, ku jê re "Plazma" jî tê gotin. Plazma xwedan îhtîmalek bilind a elektrîkê ye û bandorek girêdana xurt bi qada elektromagnetîk re heye. Ew gazek qismî îyonîzekirî ye, ku ji elektron, îyon, radîkalên azad, perçeyên bêalî û fotonan pêk tê. Plazma bi xwe tevlîheviyek bêalî ya elektrîkê ye ku perçeyên çalak ên fîzîkî û kîmyewî dihewîne.
Şiroveya rasterast ew e ku di bin bandora enerjiya bilind de, molekul dê li hember hêza van der Waals, hêza girêdana kîmyewî û hêza Coulomb ser bikeve, û bi tevahî celebek elektrîka bêalî pêşkêş bike. Di heman demê de, enerjiya bilind a ji derve tê dayîn li hember sê hêzên jorîn ser bikeve. Fonksiyon, elektron û îyon rewşek azad pêşkêş dikin, ku dikare bi awayekî sûnî di bin modulasyona zeviyek magnetîkî de were bikar anîn, wekî pêvajoya gravkirina nîvconductor, pêvajoya CVD, PVD û pêvajoya IMP.
Enerjiya bilind çi ye? Di teorîyê de, hem RF-ya germahiya bilind û hem jî RF-ya frekansa bilind dikarin werin bikar anîn. Bi gelemperî, gihîştina germahiya bilind hema hema ne gengaz e. Ev pêdiviya germahiyê pir zêde ye û dibe ku nêzîkî germahiya rojê be. Di bingeh de ne gengaz e ku di vê pêvajoyê de were bidestxistin. Ji ber vê yekê, pîşesazî bi gelemperî RF-ya frekansa bilind bikar tîne da ku wê bi dest bixe. RF-ya plazmayê dikare bigihîje heta 13MHz+.
Heksafluorîda tungstenê di bin bandora zeviyeke elektrîkê de tê plazmayîzekirin, û dû re bi riya zeviyeke magnetîkî bi buharê tê rijandin. Atomên W dişibin perrên qazê yên zivistanê û di bin bandora kişandina erdê de dikevin erdê. Hêdî hêdî, atomên W di nav qulên derbasbûnê de têne rijandin, û di dawiyê de bi tevahî qulên derbasbûnê têne dagirtin da ku têkiliyên metalî çêbikin. Ji bilî rijandina atomên W di qulên derbasbûnê de, gelo ew ê li ser rûyê Waferê jî werin rijandin? Erê, bê guman. Bi gelemperî, hûn dikarin pêvajoya W-CMP bikar bînin, ku em jê re dibêjin pêvajoya hûrkirina mekanîkî ji bo rakirinê. Ew dişibihe karanîna firçeyek ji bo paqijkirina erdê piştî berfa giran. Berfa li ser erdê tê rijandin, lê berfa di qula li ser erdê de dê bimîne. Berf, bi qasî hev.
Dema weşandinê: 24ê Kanûna Pêşîn a 2021an
