Tungsten Hexafluoride (WF6) li ser rûyê wafer bi pêvajoyek CVD-ê tê depokirin, dagirtina tirên metalên metal, û avakirina têkiliya metal.
Ka em pêşî li ser Plasma bipeyivin. Plasma formek mijarê ye ku bi gelemperî ji elektronên belaş û ionên heqkirî pêk tê. Ew di gerdûnê de bi berfirehî heye û pir caran wekî rewşa çaremîn a mijarê tê hesibandin. Ew bi navê Dewleta Plasma, jê re "Plasma" jî tê gotin. Plasma xwedan rêveberiya elektrîkê ya bilind heye û xwedî bandorek hevokek bihêz bi qada elektromagnetic. Ew gazek parçeyî ya ionized e, ji elektron, ions, radîkalên azad, parçeyên bêalî, û foton pêk tê. Plasma xwe bi tevliheviyek elektrîkî ya elektrîkî ye ku tê de parçeyên fîzîkî û kîmyewî yên aktîf tê de hene.
Ravekirina rasterast ev e ku di bin çalakiya enerjiya bilind de, molekulê hilweşîne. Di heman demê de, enerjiya bilind a ku ji hêla derveyî ve tê veqetandin sê hêzên jorîn. Fonksiyon, elektron û ion dewletek azad, ku dikare di bin modulasyona zeviyek magnetîkî de were bikar anîn, wek pêvajoya semiconductor etching, pêvajoya CVD û imp Pêvajoya PVD û IMP.
Enerjiya bilind çi ye? Di teoriyê de, her du germahiya bilind û her du jî rf-ya bilind dikare were bikar anîn. Bi gelemperî, germahiya bilind hema hema ne gengaz e ku bigihîje. Ev hewcedariya germê pir zêde ye û dibe ku nêzîkî germahiya rojê be. Di bingeh de ne gengaz e ku di pêvajoyê de bigihîje. Ji ber vê yekê, pîşesazî bi gelemperî rf-ya dubare bikar tîne da ku bigihîje wê. Plasma RF dikare bi qasî 13mhz + bigihîje.
Tungsten Hexafluoride di bin çalakiya zeviyek elektrîkî de plasmaized e, û dûv re jî ji hêla zeviyek magnetîkî ve hatî depokirin. W Atomê bi felqên gozê yên zivistanê re dişibin hev û ketin erdê di bin çalakiya gravity de. Hêdî hêdî, W Atom bi navgîniyê ve tê depokirin, û di dawiyê de tijî tijî holan dagirtin da ku têkiliyên metal ava bikin. Digel vê yekê depandina W depên di nav holikan de, ew ê li ser rûyê wafer jî werin depo kirin? Erê, bê guman. Bi gelemperî, hûn dikarin pêvajoya W-CMP bikar bînin, ku em çi dikin ku em jê re dibêjin pêvajoya mekanîkî ya mekanîkî. Ew mîna karanîna kulmek e ku meriv li dû berfê giran li erdê bişewitîne. Berfîna berfê li erdê xilas dibe, lê berf di nav axê de dê bimîne. Xwarê, bi qasî yek.
Demjimêra paşîn: Dec-24-2021
