Hexafluoride Tungsten (WF6) bi pêvajoyek CVD ve li ser rûbera waferê tê razandin, xendekên pêwendiya metalê tije dike, û pêwendiya metalî ya di navbera qatan de pêk tîne.
Ka em pêşî li ser plasma biaxivin. Plasma celebek madeyê ye ku bi piranî ji elektronên azad û îyonên barkirî pêk tê. Ew bi berfirehî li gerdûnê heye û bi gelemperî wekî rewşa çaremîn a madeyê tê hesibandin. Jê re rewşa plazmayê, ku jê re "Plazma" jî tê gotin. Plasma xwedan gihandina elektrîkê ya bilind e û bi qada elektromagnetîk re xwedan bandorek xurt a hevberdanê ye. Ew gazek bi qismî îyonîzekirî ye, ji elektron, îyon, radîkalên azad, perçeyên bêalî û fotonan pêk tê. Plazma bi xwe tevlîheviyek elektrîkî ya bêalî ye ku di nav xwe de perçeyên çalak ên fîzîkî û kîmyewî vedihewîne.
Ravekirina rast ev e ku di bin çalakiya enerjiya bilind de, molekul dê hêza van der Waals, hêza girêdana kîmyewî û hêza Coulomb bi ser bikeve, û bi tevahî rengek elektrîkî ya bêalî peyda bike. Di heman demê de, enerjiya bilind a ku ji hêla derve ve tê dayîn sê hêzên jorîn bi ser dikeve. Fonksiyon, elektron û îyon rewşek belaş pêşkêşî dike, ku dikare bi awayekî sûnî di bin modulasyona zeviyek magnetîkî de were bikar anîn, wekî pêvajoya etchingê ya nîvconductor, pêvajoya CVD, pêvajoya PVD û IMP.
Enerjiya bilind çi ye? Di teoriyê de, hem germahiya bilind û hem jî frekansa bilind RF dikare were bikar anîn. Bi gelemperî, germahiya bilind hema hema ne gengaz e ku meriv bigihîje. Ev pêdiviya germahiyê pir zêde ye û dibe ku nêzîkî germahiya rojê be. Di esasê xwe de ne mimkûn e ku meriv di pêvajoyê de bigihîje. Ji ber vê yekê, pîşesazî bi gelemperî RF-ya frekansa bilind bikar tîne da ku bigihîje wê. Plasma RF dikare bigihîje 13MHz+.
Hexafluoride Tungsten di bin çalakiya zeviyek elektrîkî de plasmaze dibe, û dûv re ji hêla zeviyek magnetîkî ve vapor tê depokirin. Atomên W dişibin perrên qazê zivistanê û di bin bandora gravîtasyonê de dikevin erdê. Hêdî hêdî, atomên W di nav kunên bi navber de têne razandin, û di dawiyê de tijî kun têne dagirtin da ku têkiliyên metalî çêbikin. Ji bilî razandina atomên W di nav kunên derbasbûyî de, gelo ew ê li ser rûyê Waferê jî werin razandin? Belê, teqez. Bi gelemperî, hûn dikarin pêvajoya W-CMP-ê bikar bînin, ya ku em jê re dibêjin pêvajoyek hûrkirina mekanîkî ya jêbirinê. Ew dişibihe bikaranîna firaxekê ji bo şûştina erdê piştî berfa giran. Berfa li ser erdê diherikî, lê berfa di çala erdê de dimîne. Li jêr, hema hema heman.
Dema şandinê: Dec-24-2021
