Hîdrojen klorîdgazek bêreng e bi bêhnek tûj. Çareseriya wê ya avî wekî asîda hîdroklorîk tê binavkirin, ku wekî asîda hîdroklorîk jî tê zanîn. Hîdroklorîd di avê de pir dihele. Di 0°C de, 1 cild av dikare nêzîkî 500 cild hîdroklorîd bihelîne.
Ew xwedî taybetmendî û taybetmendiyên jêrîn e:
1. Paqijiya bilind
Paqijiya pola elektronîkîhîdrojen klorîdpir zêde ye, bi gelemperî di asta ppm an nizmtir de ye, da ku piştrast bike ku ti qirêjî nekevin nav pêvajoya çêkirina nîvconductor.
2. Bêçalakî
Ew gazeke kîmyayî ya bêbandor e ku bi gelek madeyên din re reaksiyonê nake, ku ev yek ji bo pêşîgirtina li qirêjbûna materyal û alavên nîvconductor pir girîng e.
3. Aramiya bilind
Pola elektronîkîhîdrojen klorîdbi gelemperî xwedî kîmyayek stabîl e da ku pêvajoyek nîvconductor pêbawer misoger bike.
Di pêvajoya nîvconductor de, sepanên sereke yên hîdrojen klorîdê yên pola elektronîkî ev in:
1. Paqijkirin û amadekirina rûberê
Wekî paqijkerek rûberê ya bi bandor, pola elektronîkîhîdrojen klorîdJi bo rakirina oksîd û nepakiyan ji rûyê substratê tê bikar anîn da ku kalîte û paqijiya qata an fîlma epitaksiyal were misoger kirin.
2. Alîkariya mezinbûna epîtaksîyal
Dema ku wekî ajanek dermankirina rûberî di pêvajoya epitaksiyal de tê bikar anîn, ew dibe alîkar ku kalîteya çîna epitaksiyal baştir bibe, lihevhatina latîsê baştir bibe, û çêbûna kêmasiyên latîsê kêm bike.
3. Pêşdermankirina substratê
Berî amadekirina cîhazên nîvconductor, pola elektronîkîhîdrojen klorîddikare were bikar anîn da ku rûyê substratê were dermankirin da ku bingehek sabît çêbike da ku girêdana di navbera qata epitaksiyal û substratê de baştir bike.
4. Alîkarê danîna madeyê
Di pêvajoya danîna buxara kîmyewî (CVD) an danîna buxara fîzîkî (PVD) de, klorîda hîdrojenê ya pola elektronîkî dikare wekî navgînek veguhastina qonaxa gazê were bikar anîn da ku beşdarî reaksiyona danîna materyalên nîvconductor bibe.
5. Maddeya veguhestina qonaxa gazê
Wek ajanek veguhastina qonaxa gazê, pêşgirên din ên gazî têne danîn nav odeya reaksiyonê da ku rêjeya danînê û yekrengiya materyalê were sererast kirin.
Ev taybetmendî dibin sedema çêbûna pola elektronîkî.hîdrojen klorîdajanek pêvajoyê ya girîng di teknolojiya nîvconductor de, ku bandorek sereke li ser performans û pêbaweriya cîhaza dawîn dike.
Ji bilî karanîna wê di hilberandina nîvconductoran de, hîdrojen klorîda pola elektronîkî dikare di warên din de jî gelek karan bibîne, di nav de: Amadekirina materyalên paqijiya bilind, Pîlên Sotemeniyê, Mezinbûna materyalên Nîvconductor, Lîtografiya Qonaxa Buharê, Analîza Materyalan, Lêkolîna Kîmyewî.
Bi gelemperî, depoya elektronîkîhîdrojen klorîdgazek piralî û paqij e ku li derveyî çêkirina nîvconductoran xwedî rêzek fireh a sepanên wê ye.
Dema weşandinê: 17ê Kanûna Pêşîn a 2024an