Gavên Paqijkirina Ultra-bilind (UHP) li ser pîşesaziya nîvgirava jiyanê ye. Wekî ku daxwaz û astengiyên bêpergal ji bo zincîreyên dabînkirina gerdûnî bihayê gazê zexta ultra Ji bo hilberînerên nîvgirava, ku bikaribin piştrast bikin ku paqijiya gazê UHP ji her demê girîngtir e.

Gazên bilind ên Ultra (UHP) di hilberîna nîvrûker a nûjen de bi tevahî krîtîk in

Yek ji serlêdanên sereke yên gazê uhp nerazîbûnê ye: Gasê UHP-ê li dora civîna parastî ya li ser pêkhateyên nîvgirker tê bikar anîn, bi vî rengî di nav atmosferê de diparêze. Lêbelê, bêserûberî tenê yek ji gelek fonksiyonên cihêreng e ku gazên di pîşesaziya nîvrûker de dikin. Ji gazên plasma seretayî yên ji bo gazên reaktîf ên ku di etching û annealing de têne bikar anîn, gazên zexta ultra-bilind ji bo gelek armancên cihêreng têne bikar anîn û li seranserê zincîra peydakirina nîvserî hewce ne.

Hin gazên "bingehîn" ên di pîşesaziya nîvrojê de nenîtrojen(wekî gazîkirina paqij û bêserûber tê bikar anîn),argon(wekî gazê bingehîn a plasma bingehîn di reaksiyonên etching û depokirinê de tê bikar anîn),helium(wekî gazê vegirtî bi taybetmendiyên veguhastina germê ya taybetî tê bikar anîn) ûhîdrojen(Di annealing, depo, epitaxy û paqijkirina plasma de pir rolan dilîze.

Wekî ku teknolojiya nîvrûker derxistiye û guhertin, ji ber vê yekê gazên ku di pêvajoya çêkirinê de têne bikar anîn hene. , Nebatên hilberîna nîvrûkerkerê gelek gazan bikar tînin, ji gazên rûspî yên wekîKryptonûneonJi bo celebên reaktîf ên wekî nîtrojen trifluoride (NF 3) û tungsten hexafluoride (WF 6).

Daxwaza paqijkirina paqijbûnê

Ji ber ku vedîtina Mîkrochipê Bazirganî ya Yekem, cîhan bû şahidê li ser zêdebûna berbiçav a berbiçav a li ser performansa amûrên nîv-ekranê. Di van pênc salên borî de, yek ji wan awayên herî serdest ji bo bidestxistina vê celebê performansê bi rê ve bûye "pîvandina mezinahiya" Digel vê yekê, pêşkeftina mîmarên nû yên çipê û karanîna materyalên birrînê di performansa cîhazê de lepikên xwe hilberandiye.

, Ro, dimîneyên krîtîk ên nîvrojên birrîna qefesê naha ew qas piçûk in ku pîvana pîvanê êdî ne rêyek maqûl e ku performansa cîhazê baştir bike. Di şûna wê de, lêkolînerên semiconductor di forma materyalên nûjen û mîmaretên çîpên 3D de li çareseriyê digerin.

Decades of Redesign Tireless Wateya amûrên nîvrojê yên îro ji mîkrobên kevin pir girîngtir in - lê ew jî ew perçebûyî ne. Sermiyana teknolojiya 300mm Wafer Fallication asta kontrola neçareseriyê ya ku ji bo hilberîna nîvgirava hewce ye zêde kir. Tewra konteynirek piçûktir di pêvajoyek çêkirinê de (bi taybetî gazên rind an bêserûber) dikare bibe sedema têkçûna alavên karesatê - ji ber vê yekê paqijiya gazê ji her demê girîngtir e.

Ji bo nebatê semiconductor tîpîk, gazê paqijiya ultra-bilind jixwe lêçûna herî mezin a materyalê piştî Silicon bixwe ye. Van lêçûnan tenê tê payîn ku wekî doza semiconductorên bi bilindahiyên nû ve zêde bibin. Bûyerên li Ewrûpa bûne sedemek bêhêz a zêdebûna zexta ultra-bilind a zexta gaza xwezayî. Ukrainekrayna yek ji mezintirîn pêşbazên mezin ên paqijiyê yeneonnîşan; Invişîna Rûsyayê tê wateya amûrên gazê yên rind têne sînorkirin. Ev di encamê de ber bi kêmasiyan û bihayên bilind ên gazên din ên din ên wekîKryptonûxenon.