Gazên paqijiya pir bilind (UHP) xwîna jiyana pîşesaziya nîvconductor in. Ji ber ku daxwaza bêhempa û astengiyên li zincîrên dabînkirina gerdûnî bihayê gaza zexta pir bilind zêde dikin, sêwirandin û pratîkên nû yên çêkirina nîvconductor asta kontrola qirêjiyê ya pêwîst zêde dikin. Ji bo hilberînerên nîvconductor, misogerkirina paqijiya gaza UHP ji her demê girîngtir e.

Gazên Paqijiya Ultra Bilind (UHP) di Çêkirina Nîvconductorên Nûjen de Bi Tevahî Girîng in

Yek ji sepanên sereke yên gaza UHP bêbandorkirin e: Gaza UHP ji bo dabînkirina atmosferek parastinê li dora pêkhateyên nîvconductor tê bikar anîn, bi vî rengî wan ji bandorên zirardar ên şilbûn, oksîjen û gemarên din ên di atmosferê de diparêze. Lêbelê, bêbandorkirin tenê yek ji gelek fonksiyonên cûda ye ku gaz di pîşesaziya nîvconductor de pêk tînin. Ji gazên plazmaya seretayî bigire heya gazên reaktîf ên ku di gravkirin û germkirinê de têne bikar anîn, gazên zexta ultra-bilind ji bo gelek armancên cûda têne bikar anîn û di tevahiya zincîra dabînkirina nîvconductor de girîng in.

Hin ji gazên "bingehîn" di pîşesaziya nîvconductor de ev in:nîtrojen(wek paqijkirina giştî û gaza bêbandor tê bikar anîn),argon(wek gaza plazmaya sereke di reaksiyonên gravur û danînê de tê bikar anîn),helyûm(wek gazeke bêbandor bi taybetmendiyên veguhastina germê yên taybet tê bikaranîn) ûhîdrojen(di germkirin, danîn, epitaksiy û paqijkirina plazmayê de gelek rolan dilîze).

Her ku teknolojiya nîvconductoran pêşketiye û guheriye, gazên ku di pêvajoya çêkirinê de têne bikar anîn jî hatine guhertin. Îro, kargehên çêkirina nîvconductoran rêzek fireh ji gazan bikar tînin, ji gazên hêja yên wekîkrîptonûneonbo cureyên reaktîf ên wekî nîtrojen trîflorîd (NF3) û tungsten heksaflorîd (WF6).

Daxwaza zêde dibe ji bo paqijiyê

Ji dema dahênana mîkroçîpa yekem a bazirganî ve, cîhan şahidiya zêdebûnek ecêb a nêzîkî eksponansiyel di performansa cîhazên nîvconductor de kiriye. Di pênc salên borî de, yek ji rêyên herî ewledar ji bo bidestxistina vê celeb başkirina performansê bi rêya "pîvana mezinahî" bûye: kêmkirina pîvanên sereke yên mîmariyên çîpên heyî da ku bêtir tranzîstor di cîhek diyarkirî de werin bicîh kirin. Ji bilî vê, pêşkeftina mîmariyên çîpên nû û karanîna materyalên pêşkeftî di performansa cîhazê de gav avêtine.

Îro, pîvanên krîtîk ên nîvconductorên pêşketî ewqas piçûk in ku pîvandina mezinahiyê êdî rêyek maqûl nîne ji bo baştirkirina performansa cîhazê. Di şûna wê de, lêkolînerên nîvconductoran li çareseriyan di şiklê materyalên nû û mîmariyên çîpên 3D de digerin.

Bi dehsalan ji nû ve sêwirandina bêwestan tê vê wateyê ku cîhazên nîvconductor ên îroyîn ji mîkroçîpên kevin pir bihêztir in - lê di heman demê de ew naziktir in. Pêşketina teknolojiya çêkirina waferê ya 300 mm asta kontrola nepakiyê ya ku ji bo çêkirina nîvconductor hewce ye zêde kiriye. Tewra gemarbûna herî piçûk di pêvajoya çêkirinê de (bi taybetî gazên kêm an bêbandor) dikare bibe sedema têkçûna karesatbar a alavan - ji ber vê yekê paqijiya gazê niha ji her demê girîngtir e.

Ji bo kargeheke çêkirina nîvconductorên tîpîk, gaza paqijiya pir bilind piştî silîkonê jixwe mezintirîn lêçûna materyalê ye. Tê payîn ku ev lêçûn tenê zêde bibin ji ber ku daxwaza ji bo nîvconductoran digihîje astek nû. Bûyerên li Ewropayê bûne sedema aloziyên zêdetir li bazara gaza xwezayî ya zexta pir bilind a aloz. Ukrayna yek ji mezintirîn îxracatkarên cîhanê yên paqijiya bilind e.neonnîşan; Dagirkirina Rûsyayê tê vê wateyê ku dabînkirina gaza kêm kêm dibe. Ev yek jî bû sedema kêmbûn û bihayên bilind ên gazên din ên hêja yên wekîkrîptonûksenon.